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光伏新能源的能源在无尘车间的生产

点击数:2932018-08-13 11:13:03 来源: 青岛爱可霖净化工程有限公司

  随着科技的不断发展,人们越来越重视新能源的开发,其中光伏能源就是一个正在被开发的新能源。光伏能源是半导体集成电路的主要材料,目前集成电路正朝着0.18微米发展,这对光伏新能源的性能要求更高、需求更大,光伏新能源的前景十分明亮。

  从大的方面来讲,光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分,细分为以下几道主要工序:单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角(圆边)-研磨/研磨片检查-蚀刻(化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺)。

  PTA热处理-背面损伤处理-抛光(ML粗抛、ML精抛)-洗净-品质检查-洁净包装从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序,切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。下面以某日资硅片厂为例,介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。

  各生产工序环境控制要求某硅片厂生产4~6英寸光伏新能源硅晶片,产量为480万片/年。此公司光伏新能源硅晶片应用于分立器件、功率元件和特种集成电路的制作。

  二、空调净化系统空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点,下面来介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统方案。

  空调系统1 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来保证房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,采用双层百叶风口侧送风方式;室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大,新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm 粒子),同样屋顶式空调机需设两级过滤器。
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